Preisträger:
Siegerteam: Dr. Michael Hornung, Gilbert Lecarpentier, Dr. Mathias Rommel, Holger Schmitt

Das Quartett hat gemeinsam an der "UV-Nanoimprint-Lithografie" gearbeitet.

Das Prägeverfahren wird in der Chip-Herstellung angewandt. Im Vergleich zu aktuellen Verfahren benötigt die eingesetzte optische Lithografie keine aufwendigen Linsen-Optiken mehr.

Die Folge: Es lassen sich kleinste Bauelement-Strukturen, zum Beispiel CMOS-Transistoren, kostengünstiger abbilden.

Mit dem Verfahren können auch dreidimensionale Strukturen übertragen werden.

Das neue Verfahren wurde in zwei Anlagen zur Marktreife entwickelt. Die Anlagen ermöglichen es auch kleinen und mittleren Unternehmen, ihre Ideen in der Mikro- und Nanoelektronik umzusetzen.

Michael Hornung ist Projektmanager bei der Süss MicroTec Lithography GmbH in Garching, Gilbert Lecarpentier ist internationaler Produktmanager bei der französischen S.E.T. SAS.

Mathias Rommel und Holger Schmitt arbeiten am Fraunhofer IISB in Erlangen.